ПриложениеВакуумная система нанесения покрытий G4000MR представляет собой серийную установку для нанесения однородных отражающих и защитных покрытий на крупногабаритные оптические изделия, в том числе астрономические главные зеркала.Инженерия и технологииКонфигурация установки для нанесения покрытий и особенности процесса напыления разработаны специально для обработки изделий диаметром до 4 метров с помощью небольших программно-управляемых магнетронов, перемещающихся по расчетной траектории с регулируемой скоростью. Скорость движения магнетронов и скорость вращения зеркал согласованы для достижения исключительно равномерной толщины покрытия. Зеркало кладут лицевой стороной вниз и в течение цикла несколько раз поворачивают.G4000MR предназначен для нанесения отражающих покрытий из алюминия, серебра и других металлов. Слой оксида кремния поверх отражающего покрытия обеспечивает износостойкие защитные свойства пакета покрытий. Перед нанесением покрытия поверхность зеркала подвергается плазменной обработке с помощью подвижного источника ионов для обеспечения хорошей адгезии. Покрытие наносится методами металлического и реактивного магнетронного напыления. Круглые магнетроны питаются от импульсных источников питания постоянного тока. Устройства на основе кварцевых резонаторов используются для управления скоростью осаждения растущей тонкой пленки.Вакуум, необходимый для нанесения покрытия, обеспечивается рефрижераторными крионасосами и турбонасосом, соединенным с воздуходувкой Рутса и насосами сухого сжатия.Система управления обеспечивает полностью автоматизированный процесс.Устройство для нанесения покрытий и процесс нанесения покрытия могут быть настроены в соответствии с требованиями соответствующего заказчика.Техническая спецификацияПодложка: крупногабаритные астрономические зеркала из стеклокерамикиДиаметр основания: до 4 мКоличество подложек: 1 шт
