1. Идентичная конструкция вакуумных отсеков длиной 795 мм позволяет пользователям свободно менять расположение насосного, газоразделительного и катодного отсеков, тем самым повышая гибкость процесса.2. Новая конструкция газоразделительного устройства позволяет избежать дрейфа газа между катодными отсеками и обеспечивает лучший эффект газоразделения.3. Опорная трубка из экструдированного алюминия изолирует магнит и его ярмо от охлаждающей воды, чтобы избежать изменения магнитного поля из-за длительного погружения в воду.4. Оснащен вспомогательной системой технологического газа с 5-9 коллекторами, каждая из которых может отличаться в зависимости от требований процесса.5. Высокоточное управление транспортировкой может быть обеспечено серводвигателями.6. Уменьшение объема входной и выходной камер для повышения эффективности и снижения затрат.7. Встроенная катодная крышка обеспечивает идеальное сочетание газового коллектора, контроллеров, разъемов для электропитания и различных сред в «коробке», что делает конфигурацию процесса более гибкой.8. Каждый катод оснащен независимой системой управления.9. Цельная конструкция крышки облегчает механический и гидравлический подъем, что обеспечивает лучший автоматический контроль.10. Использование передовых турбомолекулярных насосов на магнитной подвеске и винтовых насосов предотвращает загрязнение обратным потоком масла и делает его более надежным и эффективным
