Внутренние торцевые блоки серии TC имеют уникальную технологию подачи энергии в самой компактной доступной конструкции. TC может обрабатывать цели до 1500 мм и имеет номинальную мощность 40 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC.Торцевые блоки SCI с внутренним креплением отличаются высокой надежностью и простой, удобной в обслуживании конструкцией. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, что является одним из наиболее распространенных видов отказа вращающихся катодов.Наша уникальная функция заполнения и слива воды позволяет улучшить охлаждение мишени и полностью слить целевую воду при продувке. Конструкция исключает возможность гальванической коррозии внутри концевого блока, что может привести к протечкам воды и коротким замыканиям.Концевые блоки внутреннего монтажа TC компании Sputtering Components могут быть установлены на любую новую установку для нанесения покрытий или могут легко заменить планарные системы.ФункцииЗапатентованная технология подачи энергииУникальный метод прикрепления целиНадежные вращающиеся уплотнения с длительным сроком службыСамая компактная конструкция для стандартных промышленных целейНепатентованный целевой дизайнПодходит для стандартных размеров мишенейЗапатентованная функция целевого заполнения/слива водыПреимуществаПревосходная надежностьПростота установкиБыстрое изменение цели2 часа ежегодного обслуживания; Общее восстановление конечного блока за 3 часаОчень низкая стоимость обслуживанияИспользуйте цели от любого поставщикаПревосходная мощность без воздействия индукционного нагрева — без пыли от щетокОтсутствие гальванической коррозии
