Наш самый большой концевой блок с внутренним креплением, SC, может обрабатывать цели до 4000 мм и имеет номинальную мощность до 200 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC.Торцевые блоки SCI с внутренним креплением отличаются высокой надежностью и простой, удобной в обслуживании конструкцией. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, что является одним из наиболее распространенных видов отказа вращающихся катодов.Наша уникальная функция заполнения и слива воды позволяет улучшить охлаждение мишени и полностью слить целевую воду при продувке. Такая конструкция исключает возможность гальванической коррозии внутри концевого блока, что может привести к протечкам воды и коротким замыканиям.Концевые блоки SC компании Sputtering Components могут быть установлены на любую новую установку для нанесения покрытий или могут легко заменить другие поворотные концевые блоки или планарные системы.ФункцииЗапатентованная технология подачи энергииУникальный метод прикрепления целиНадежные вращающиеся уплотнения с длительным сроком службыСтандартный монтаж на крышкеНепатентованный целевой дизайнЗапатентованное целевое наполнение и слив водыМагнитная планка может быть установлена под любым угломПреимуществаСамая высокая надежность на рынкеПростота установки или модернизации концевых блоков конкурентовСамая быстрая смена цели1 час ежегодного обслуживания; Общее восстановление конечного блока за 3 часаСамая низкая стоимость обслуживанияИспользуйте цели от любого поставщикаВысокая мощность без индукционного нагрева - без пыли от щетокОтсутствие гальванической коррозии
