Надежный и мощный полупроводниковый мощный плазменный генератор для максимальной плотности плазмы и технологических требованийГенераторы серии TruPlasma MW основаны на твердотельной технологии и обеспечивают значительно более высокую точность частоты, чем микроволновые генераторы на основе магнетрона. Инновационная концепция платформы позволяет эффективно и экономично реализовать максимальные плотности плазмы и даже очень высокие технологические требования. Модульная структура также позволяет точно масштабировать выходную мощность. Электропитание остается стабильным все время без какого-либо ухудшения качества процесса. Серия TruPlasma MW обеспечивает наилучшие результаты и максимальную надежность при производстве полупроводников, фотогальванических элементов и дисплеев благодаря современным технологическим функциям.Инновационная импульсация в наносекундном диапазоне позволяет лучше контролировать плазменный процесс.Различные генераторы могут работать и генерировать импульсы синхронно по фазе в системах с несколькими антеннами. Изменяя фазовую когерентность между отдельными генераторами, можно добиться обширной однородности плазмы.Воспользуйтесь преимуществами высокоточной цифровой частотной модуляции, которая обеспечивает воспроизводимость результатов процесса, максимальное качество покрытия и производительность.Автоматическая адаптация частоты гарантирует оптимальный результат процесса и высокую воспроизводимость.Вы можете положиться на функцию генератора — качество процесса не ухудшается даже в случае несоответствия.Вы можете управлять машиной очень быстро в течение миллисекунды с помощью цифрового интерфейса EtherCat. Это обеспечивает точное распределение плазмы
