В основном используется для создания антибликовых покрытий высочайшего качества при производстве солнечных элементов из кристаллического кремния, а также для нанесения пассивирующей пленки на заднюю сторону солнечных элементов.Графитовая лодочка и пластины готовы → Впуск азота → Загрузка графитовой лодочки → Вакуумирование, испытание под давлением → Предварительная очистка и проверка аммиака → Вакуумирование трубки, проверка на герметичность, постоянная температура → Предварительное покрытие → Нанесение покрытия → Вакуумирование, испытание под давлением → Очистка трубки и вход азота → разгрузка графитовой лодочки.· Совместимость с процессом SiOxNy PERC.· Двойная технология уплотнения фланцев охлаждающей воды.· Запатентованная технология внутреннего нагрева.· Высокоскоростной интегральный модульный толкающий механизм лодки.· Графитовая бесконтактная лодочка с кварцевой трубкой.· Программное обеспечение MES с независимыми правами интеллектуальной собственности.· Независимо разработанная система CCC.· Технология быстрого покрытия.· Аварийная защита от перегрева, обрыва термопары и столкновения с лодкой
