Передовая производительность с максимальной эффективностью капиталовложений и экономией занимаемой площадиVeeco EPIK® 868 — это система MOCVD с наивысшей производительностью в светодиодной отрасли, которая обеспечивает превосходную однородность и повторяемость с низким уровнем брака. Доступный в конфигурациях с четырьмя реакторами, EPIK 868 использует революционные технологии, включая запатентованные технологии IsoFlange™ и TruHeat™, которые обеспечивают ламинарный поток и равномерный температурный профиль по всему держателю пластин. Эти технологические инновации обеспечивают более высокую производительность, необходимую для мини- и микросветодиодов. Неотъемлемой частью EPIK 868 является технология TurboDisc®, которая обеспечивает высочайшую доступность и время безотказной работы системы. Разработанный для массового производства, высокопроизводительный носитель EPIK 868 поддерживает несколько размеров пластин размером 4 или 6 дюймов, что обеспечивает минимальную стоимость владения. Клиенты могут легко перенести процессы с существующих систем TurboDisc на новую платформу EPIK 868 MOCVD для быстрого запуска производства высококачественных мини- и микросветодиодов.Отличная однородность с низким уровнем бракаКомпактная кластерная архитектураВысокопроизводительная архитектура для максимальной производительности
