PECVD и магнетронная система нанесения оптических пленок Многогранная структура Вакуумная лакировальная машинаМашина Multi950 представляет собой специализированную многофункциональную систему вакуумного напыления для исследований и разработок. После полугодового обсуждения с командой Шанхайского университета под руководством профессора Чена мы наконец подтвердили дизайн и конфигурации для выполнения их приложений для исследований и разработок. Эта система способна наносить прозрачную пленку DLC с помощью процесса PECVD, твердые покрытия на инструменты и оптическую пленку с распыляющим катодом. Основываясь на этой концепции конструкции экспериментальной машины, мы разработали еще 3 системы покрытий:1. Биполярное покрытие для электромобилей на топливных элементах — FCEV1213,2. Керамическая медь с прямым покрытием - DPC1215,3. Гибкая система распыления - RTSP1215.Эти 4 модели машин имеют камеру Octal, гибкие и надежные характеристики широко используются в различных приложениях. Он используется в процессах нанесения покрытий, для которых требуется множество различных металлических слоев: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многие другие неферомагнитные металлы;плюс блок источника ионов, эффективно улучшающий адгезию пленок к различным материалам подложки благодаря характеристикам плазменного травления и процессу PECVD для осаждения некоторых слоев на основе углерода.Multi950 является вехой передовых систем покрытий для Royal Tech. Здесь мы благодарны студентам Шанхайского университета и особенно Процессу Иган Чену, его творческая и самоотверженная самоотверженность является большой ценностью и источником вдохновения для нашей команды
