Вводя прекурсор в плазму после разряда, ULCoat наносит тонкие слои на обрабатываемую поверхность.ULCoat — это система, которая испаряет прекурсор и впрыскивает его под плазменное сопло. ULCoat используется вместе с генератором OMEGA ULS.Стандартная установка предназначена для осаждения SiOx с использованием металлоорганического прекурсора. Однако по запросу могут быть разработаны и другие рецепты.Лаборатория разработки процессов AcXys Technologies к вашим услугам для разработки приложения, отвечающего вашим потребностям, в рамках контракта на исследования и разработки.Технология ULCoat– В сочетании с модулем ULS OMEGA– Используется для нанесения тонких слоев– Регулируемая толщина от 50 до 1000 нм– Равномерная толщина с отклонением +/- 2%— Скорость обработки при обработке до 200 нм.см2/с– Стандартная версия оптимизирована для отложений SiOxИнжекторная форсункаПоток предшественника контролируется до его введения в плазму. Этот модуль объединяет следующие элементы:- Предварительный танк– Контроль потока прекурсора– Контроль расхода газа– Нагревательный элемент (опционально)Сенсорный экран с интуитивно понятным цифровым интерфейсом- Встроенный сенсорный экран (удаленный, если OEM)- Интуитивное управление- Многоязычный интерфейс- Обнаружение ошибок и устранение неполадок- Отображение инструкций в реальном времениСовместимый газ- Воздух– Азот– Другие газовые смеси
