Высочайшая точность потока для подачи деионизированного водяного пара сверхвысокой чистоты (DI).Модуль подачи пара (VDM) от Brooks Instrument — это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной подачи деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Он отличается энергоэффективной конструкцией, позволяющей генерировать низкотемпературный пар сверхвысокой чистоты. Он использует проверенную технику подачи пара и сочетает ее с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом удобном корпусе.Разработанный для усовершенствованных процессов пассивации полосы и последующего травления металла, VDM обеспечивает повышенную точность, более высокие скорости потока, более широкий диапазон регулирования и более низкое энергопотребление по сравнению с системами мгновенного испарения. Основанный на проверенных методах измерения теплового массового расхода, VDM производит пар в неперегретом состоянии, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, повышая надежность и чистоту работы.VDM предлагает удобные функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя.Функции• Диапазон расхода: 3 л/мин (пара DIW)• Прямое измерение водяного пара с превосходной точностью расхода• Подключается непосредственно к водопроводу деионизированной воды в доме.• Работает при более низких температурах (неперегретое состояние)• Оптимизированная конструкция для промывки и слива• Цифровая связь EtherCAT• Графический пользовательский интерфейс Brooks Expert Support Tool (BEST).Преимущества• Использует проверенный и надежный метод измерения и контроля теплового массового расхода.• Высокая устойчивость к переменному давлению подачи деионизированной водыУлучшенная коррозионная стойкость в зоне контакта со средойОбеспечивает более чистую работу
