SPG5A-6A представляет собой вакуумметр с емкостной диафрагмой, в котором используется сапфировый емкостной датчик давления для обеспечения высокой точности и надежности, компактных размеров и легкого веса. Доступны модели с самонагревом и без него. SPG5A/6A особенно подходит для использования в производстве полупроводников.Функции* - Использует монокристалл сапфира для отличной устойчивости к коррозии и высоким температурамВысокоустойчивый к коррозии и термостойкий монокристаллический сапфировый датчик давления также обладает превосходными механическими характеристиками. Емкостное измерение имеет высокую воспроизводимость даже при использовании при высокой температуре.* - Высокоточное измерениеУсовершенствованная технология обработки сигналов способствует превосходным температурным характеристикам и линейности измерения.* - Компактный и легкийМаленький размер и легкий вес благодаря технологии микрообработки* - Быстрое время прогрева и стабильный контроль температуры датчикаМикропроцессорный цифровой ПИД-регулятор обеспечивает быстрый прогрев и стабильную температуру датчика (самонагревающиеся модели)
