Быстро реагирующая, воспроизводимая подача технологических газов с высоким и сверхвысоким уровнем чистоты — это производительность, которую обеспечивают регуляторы массового расхода и расходомеры с металлическим уплотнением серии GF100. Серия GF100, разработанная для полупроводников, MOCVD и других приложений управления потоком газа, превосходит стандарт полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая воспроизводимые и очень стабильные характеристики с течением времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без отключения его от газовой линии и без ущерба для точности.Результат: повышенная гибкость и эффективность процесса в сочетании с самым высоким в отрасли уровнем чистоты технологического газа, что помогает максимально увеличить выход и производительность.ФункцииДолговременная стабильность нуля
