Высокопроизводительные газовые расходомеры с широким диапазоном измерений.ОписаниеВ массовых расходомерах газа серии CMS в качестве чувствительного элемента используется наш запатентованный датчик теплового расхода. Благодаря интеграции этого ультраминиатюрного датчика массового расхода, изготовленного с использованием технологии микрообработки и усовершенствованной конструкции сверхтонких каналов, был достигнут беспрецедентный уровень высокой точности и широкий диапазон измерений при низких затратах.Эти расходомеры, отличающиеся простотой использования и высокой надежностью, установят стандарт на будущее.Изготовленный с использованием кремниевой микрообработки и тонкопленочных технологий, этот датчик расхода теплового типа имеет площадь всего 1,7 мм² и толщину 0,5 мм.Использование технологии сверхточной обработки сводит к минимуму отклонения в расположении элементов и теплоемкости. Высокое разрешение 1 мм/с по скорости потока и быстродействие около 2 мс достигаются на уровне сенсорного чипа.При отсутствии газового потока распределение температуры вокруг нагревателя симметрично. Когда газ начинает течь от Ru к Rd, температура на Ru выше по потоку начинает снижаться, а температура на Rd ниже по потоку увеличивается, что вызывает нарушение симметрии в распределении температуры.Эта разница температур между Ru и Rd используется для расчета массовой скорости (скорость x плотность)
