PFLOW: Датчики массового расхода воздуха OEM MEMS для медицинских приложений и систем управления технологическими процессами.С высокой устойчивостью к засорению и скачкам давленияКомпания PEWATRON выпустила новый МЭМС-датчик массового расхода воздуха PFLOW, который включает в себя последние инновации в области МЭМС и микроэлектроники. Датчик PFLOW обладает очень высокой устойчивостью к засорению и скачкам давления. Благодаря инновационной конструкции теплоизоляции MEMS не требуются хрупкие тонкие мембраны или поверхностные полости для теплоизоляции. Датчик обладает очень высокой чувствительностью при малых расходах и поэтому идеально подходит для медицинских и передовых применений в обрабатывающей промышленности.Датчик расхода состоит из двух термобатарей, симметрично расположенных вверх и вниз по потоку от нагревательного элемента, который нагревает горячие спаи. Каждая термобатарея состоит из 20 последовательно соединенных термопар, что обеспечивает наивысший уровень чувствительности. Когда поток проходит через матрицу, термобатареи создают выходное напряжение, пропорциональное градиенту температуры (асимметричному) между горячим и холодным спаем из-за эффекта Зеебека. В случае статической среды (отсутствие потока) температурный профиль как вверх, так и вниз по течению симметричен.Предлагаются пять стандартных диапазонов измерения от 0…10 SCCM до 0…2000 SCCM, а также специальные диапазоны от 10 до 2000 SCCM. Точность лучше, чем +/-2,0% полной шкалы, а аналоговый выходной сигнал с температурной компенсацией (0…50°C) очень линейно зависит от расхода. Выходное аналоговое напряжение составляет от 1 до 5 В постоянного тока, а датчик устойчив к конденсации воды. Время отклика очень быстрое, около 1-3 мс
