Высокоскоростной и прецизионный модуль массового расхода, нечувствительный к давлениюКритические производственные процессы полупроводников постоянно нуждаются в прецизионных устройствах управления потоком газа, которые обеспечивают как будущие инновации, так и переход от лаборатории к фабрике передовой памяти и логических устройств. Компания HORIBA предлагает новый MFC D700MG на основе давления, совместимую с верхней частью модели D500MG, для решения задач клиентов.ФункцииOn-tool Gas и полномасштабное изменение конфигурации *Только EtherCATОбеспечение гибкости для оптимизации процессов100 мс отклик на повышение и контроль отклонения от MFC к MFCОбеспечьте высокую производительность и лучшую производительность процессаФункциональность MRMG для малого расхода (Bin101 – Bin105)Обеспечьте гибкость процесса, требующего небольшого расходаЛучшее перекрытие клапана и коррозионная стойкость благодаря соплу PFAНадежность с меньшим риском образования частиц сокращает время простоя и оптимизирует производительностьФункция мониторинга состоянияПредоставляйте больше внутренних данных для более точного прогнозирования отказов
