Микросхемы тепловых датчиков расхода модели TFSC100 разработаны для изготовления датчиков расхода (например, датчиков расхода TFS2100 от BCM SENSOR). Поскольку в микросхеме TFSC100 нет движущихся частей, эта микросхема датчика подходит для измерения низкого расхода воздуха или газов и может обеспечивать стабильные и надежные сигналы для датчиков расхода.Измерение расхода этой сенсорной микросхемой осуществляется благодаря тепловому мосту, который состоит из четырех терморезисторов, образующих полную схему моста Уитстона. Эти терморезисторы изготавливаются из платиновой пленки на кристалле с помощью процесса MEMS. На основе специальной конструкции измерительной цепи характеристики двух терморезисторов вдали от нагревателя такие же, как и у двух других вблизи нагревателя. Это позволяет чипу датчика расхода TFSC100 работать как чипу линейного датчика.Чтобы понять, как работает этот сенсорный чип, рекомендуется обратиться к двум схематическим диаграммам в разделе «Принцип работы» в этом техническом описании.Хотя для соединения проводов можно использовать как золотую, так и алюминиевую проволоку, более рекомендуется использовать золотую проволоку. Это связано с тем, что золотые провода могут обеспечить этому сенсорному чипу более высокую стабильность и более высокую устойчивость к коррозии и условиям влажности, когда этот сенсорный чип измеряет протекающую среду.Для защиты этого сенсорного чипа на верхнюю поверхность чипа TFSC100 нанесен пассивирующий слой, обеспечивающий устойчивость чипа к пыли и влаге
