Регуляторы и измерители массового расхода, которые измеряют массовый расход, менее подвержены влиянию температуры и давления по сравнению с механическими расходомерами и клапанами и могут обмениваться информацией о расходе посредством электрического обмена. Они используются в широком спектре процессов и оборудования в областях, где требуется высокий уровень точности, воспроизводимости, оперативности и экономической эффективности, таких как полупроводники, оптические волокна, различные анализы, топливные элементы, жидкие кристаллы, органическая электролюминесценция, биотехнология, пищевые продукты, измерение окружающей среды, контроль дымовых газов, заводское оборудование и контрольно-измерительное оборудование.■Применимый газ: N₂, воздух, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ и т. д.■Диапазон расхода：10SCCM～50SLM■ Точность: ± 3 ~ 5% полной шкалы
